潔凈室AMC中酸堿性污染物的環(huán)境監(jiān)測(cè)主要是通過離子色譜分析儀，結(jié)合人工采樣、超純水吸收法等前處理過程。此監(jiān)測(cè)分析過程繁瑣低效，并可能引入人工污染的風(fēng)險(xiǎn)，導(dǎo)致監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)結(jié)果偏差。

 

FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng) 應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物（AMC）中酸性物質(zhì)(MA)、堿性物質(zhì)（MB）污染物的在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法，實(shí)現(xiàn)了多點(diǎn)采樣、氣體自動(dòng)吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動(dòng)在線監(jiān)測(cè)功能，解決了潔凈室AMC監(jiān)測(cè)過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時(shí)等問題。

 

性能特點(diǎn)

 

自控程度高

 

FAAS 8000ICS 實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)遠(yuǎn)距離采樣、自動(dòng)富集吸收、 自動(dòng)質(zhì)量控制、自動(dòng)分析、數(shù)據(jù)自動(dòng)上傳全流程自動(dòng)化。避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

 

檢測(cè)能力強(qiáng)

 

大體積進(jìn)樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測(cè)能力，檢出限可達(dá)亞ppt級(jí)，縮短系統(tǒng)運(yùn)行周期。

 

監(jiān)測(cè)范圍廣

 

單套系統(tǒng)最多可配置32個(gè)點(diǎn)位的樣品采集；

 

系統(tǒng)通過真空泵遠(yuǎn)距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測(cè)。

 

系統(tǒng)本底低

 

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計(jì)，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的低本底控制要求。

 

吸收效率高

 

在線雙吸收模塊設(shè)計(jì)，提高樣品吸收效率，縮短系統(tǒng)運(yùn)行周期。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

 

FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測(cè)，可擴(kuò)展至大氣中離子污染物的檢測(cè)。

 

應(yīng)用案例

 

采用FAAS 8000ICS在線監(jiān)測(cè)潔凈室中的NH₄⁺、SO₄^2-、NO₃^-、NO₂^-、Cl^-、F^- 等六種離子濃度10天內(nèi)變化情況。實(shí)驗(yàn)結(jié)果與離線手動(dòng)檢測(cè)結(jié)果一致，符合半導(dǎo)體潔凈室檢測(cè)要求。