1.納米壓痕測(cè)試

       硬度的傳統(tǒng)定義是材料抵抗另一種較硬材料壓入的能力，它與材料彈塑性、拉伸強(qiáng)度、疲勞強(qiáng)度、耐磨性以及殘余應(yīng)力等力學(xué)性能密切相關(guān)，是材料綜合力學(xué)性能的反映。顯微硬度測(cè)試薄膜硬度時(shí)一般會(huì)得到微米級(jí)深度的壓痕，深度大于薄膜的厚度，獲得的硬度就不可避免的會(huì)受到基體的影響，為薄膜與基體的復(fù)合硬度。

       安東帕納米壓痕是表征薄膜力學(xué)性能的必要的工具，符合ISO14577標(biāo)準(zhǔn) ，能提供小載荷測(cè)試，在薄膜硬度的測(cè)試過(guò)程中，保證壓痕深度為薄膜厚度的1/10時(shí)，使獲得的硬度和彈性模量不受基材的影響，為薄膜的本征硬度。

       2.劃痕測(cè)試

       劃痕測(cè)試是表征膜基結(jié)合情況廣泛、研究最多的一種方法。劃痕試驗(yàn)方法是上個(gè)世紀(jì)30年代發(fā)明的，它是用一個(gè)直徑為200μm的球型金剛石針尖在薄膜表面劃動(dòng)，同時(shí)載荷也逐漸增加，當(dāng)載荷達(dá)到一定值時(shí)，薄膜會(huì)出現(xiàn)損壞和剝落，此時(shí)的載荷稱(chēng)為臨界載荷，用Lc 表示。臨界載荷用聲發(fā)射和摩擦力等信號(hào)檢測(cè)，但通過(guò)顯微鏡觀察劃痕情況所對(duì)應(yīng)的載荷定義Lc 更為精準(zhǔn)。

       安東帕公司的劃痕儀具有實(shí)時(shí)力反饋系統(tǒng)、劃痕前掃和后掃功能及全景成像技術(shù)專(zhuān)利設(shè)計(jì)，這些使得劃痕的圖像和其他劃痕過(guò)程中的參數(shù)一一對(duì)應(yīng)，更加準(zhǔn)確方便判斷臨界載荷Lc。

       3.摩擦磨損測(cè)試

       薄膜的摩擦磨損性能在其機(jī)械性能中占的比例也很大，安東帕經(jīng)典的TRB摩擦試驗(yàn)機(jī)采用“山”形彈性臂設(shè)計(jì)，直觀的測(cè)試原理極大地簡(jiǎn)化了幾乎各種固體材料在干燥或潤(rùn)滑條件下的摩擦學(xué)研究。另外，對(duì)多種測(cè)試參數(shù)，例如：摩擦方式、轉(zhuǎn)速、頻率、接觸壓強(qiáng)、測(cè)試時(shí)間和環(huán)境條件（溫度、濕度、潤(rùn)滑劑）等的控制，使得在實(shí)驗(yàn)室模擬試樣實(shí)際服役條件下的摩擦行為成為可能。