8月17日，美國(guó)再次升級(jí)針對(duì)華為的禁令

       “基于美國(guó)軟件和技術(shù)的產(chǎn)品不能用以制造或開發(fā)任何華為子公司（實(shí)體名單內(nèi)）所生產(chǎn)、購(gòu)買或訂購(gòu)的零部件、組件或設(shè)備中。”這意味著不但華為的麒麟芯片成為絕響，就連華為所需芯片的外購(gòu)之路也被徹底堵死。此役，不管華為短時(shí)間內(nèi)如何破局，長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，芯片制造必須完全自主化。

 

       電子級(jí)硝酸

 

       硝酸是芯片生產(chǎn)工藝中蝕刻環(huán)節(jié)非常重要的試劑，試劑中混雜的痕量氯離子會(huì)嚴(yán)重影響半導(dǎo)體器件的質(zhì)量，因此，不同級(jí)別的硝酸試劑，對(duì)其無(wú)機(jī)離子尤其是氯離子、硫酸鹽等有著嚴(yán)格的限量要求。目前針對(duì)電子級(jí)硝酸尚無(wú)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，但是團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)用高純硝酸》和《電子工業(yè)用高純硝酸中痕量陰離子含量的測(cè)定  離子色譜法》已經(jīng)完成了意見(jiàn)征集，以上標(biāo)準(zhǔn)中均采用離子色譜來(lái)檢測(cè)硝酸中的痕量陰離子，離子色譜在保證電子級(jí)硝酸質(zhì)量方面具有不可或缺的作用。

 

       瑞士萬(wàn)通離子色譜堅(jiān)實(shí)耐用，整機(jī)由瑞士進(jìn)口，取得“Swiss made”標(biāo)識(shí)的使用資格（至少60%成本在瑞士，賦予產(chǎn)品基本特征的階段也必須在瑞士進(jìn)行），十分適合硝酸中陰離子的檢測(cè)。

 

       對(duì)于硝酸這種高濃度基體試劑，一般色譜柱容量難以滿足測(cè)試需求，因此需要其進(jìn)行稀釋或采用閥切換的方式進(jìn)行檢測(cè)。 

 

       稀釋進(jìn)樣

 

       本次實(shí)驗(yàn)樣品為20%~35%的硝酸，將其稀釋100倍后進(jìn)樣。

 

       采用Metrosep A Supp 16-250/4.0分離柱

       淋洗液：10.0mM Na2CO3+4.0mM NaHCO3的超純水溶液為淋洗液，進(jìn)樣體積1.5μL，流速0.6mL/min，柱溫控制在20℃~25℃

       硝酸根在待測(cè)陰離子之后出峰，確保色譜峰的分離。

 

       閥切換

 

       本方案采用兩套離子色譜系統(tǒng)，第一套離子色譜系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)分離，樣品經(jīng)過(guò)檢測(cè)器后進(jìn)入第二套離子色譜系統(tǒng)裝有預(yù)濃縮柱的進(jìn)樣閥，通過(guò)第一套離子色譜系統(tǒng)的檢測(cè)器觀察，在待測(cè)離子出峰的時(shí)間段將第二套離子色譜進(jìn)樣閥切換至預(yù)濃縮柱，如此，第二套離子色譜即可只針對(duì)待測(cè)離子進(jìn)行分析，避免濃硝酸基體的干擾。

 

       系統(tǒng)1●●

 

       采用Metrosep A Supp 16-250分離柱

       淋洗液：100mM NaOH的超純水溶液，進(jìn)樣體積20μL，流速0.8mL/min，柱溫控制在25℃

 

       系統(tǒng)2●●

 

       采用Metrosep A Supp 5-250分離柱

       淋洗液：3.2mM Na2CO3+1.0mM NaHCO3的超純水溶液，流速0.7mL/min，柱溫控制在25℃，預(yù)濃縮柱進(jìn)樣