測量薄膜硬度對于確定最佳薄膜制造參數(shù)并檢測其制造質(zhì)量非常重要，該設(shè)備可使用較小試驗力，根據(jù)下壓深度，對硬度值進行評價。島津DUH-211/211S動態(tài)顯微硬度計可動態(tài)測量硬度并評價塑性和彈性變形的硬度，另外，如果壓痕尺寸足以用顯微鏡觀察，則可通過測量壓痕的對角線長度，來從塑性變形部分測得硬度。

       特點：

 

       具有精度良好的彈性率評價。

 

       0.1976mN的試驗力分辨率

 

       0.1~1961mN的超寬試驗力范圍

 

       采用高精度的壓入深度測定方法

 

       多種加載-卸載方式

 

       可以測定維氏硬度和努氏硬度

 

       通過選擇壓盤與壓縮軟件可以進行微小載荷的壓縮測試。