譜育：助力中國(guó)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)崛起
科學(xué)技術(shù)通過(guò)服務(wù)于產(chǎn)業(yè)應(yīng)用，才能發(fā)揮其第一生產(chǎn)力的作用。隨著我國(guó)從“制造大國(guó)”向“制造強(qiáng)國(guó)”邁進(jìn)，“兩化”融合加速推進(jìn)，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)和技術(shù)改造持續(xù)升級(jí)。
譜育科技針對(duì)半導(dǎo)體、生命科學(xué)等不同行業(yè)客戶越來(lái)越高端、多樣的分析檢測(cè)需求，將高端質(zhì)譜儀器現(xiàn)場(chǎng)化、自動(dòng)化、智能化應(yīng)用到相關(guān)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，助力中國(guó)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)崛起。
半導(dǎo)體行業(yè)高精密監(jiān)測(cè)和自動(dòng)化系統(tǒng)
在半導(dǎo)體行業(yè)，90nm以下制程對(duì)納米級(jí)微小顆粒、氣態(tài)分子、金屬元素污染物敏感，雜質(zhì)元素要控制在<10ppt。
在解決半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問(wèn)題上，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)高精密質(zhì)譜分析系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體制造工藝全流程質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。
譜育科技以半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的精密檢測(cè)分析為切入點(diǎn)，結(jié)合高純?cè)噭�、濕電子化學(xué)品、高純晶圓和高潔凈車間等的檢測(cè)需求，以高度定制化、系統(tǒng)自動(dòng)化為方向開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體行業(yè)專用的質(zhì)譜在線系統(tǒng)，為半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈精密檢測(cè)分析提供技術(shù)支撐。
當(dāng)前，譜育科技基于現(xiàn)有ICP-MS核心技術(shù)和成熟產(chǎn)品，開(kāi)發(fā)適用于半導(dǎo)體行業(yè)的低至ppt級(jí)別雜質(zhì)元素檢測(cè)需求的高靈敏度四極桿/三重四極桿型質(zhì)譜儀，并基于該ICP-MS核心儀器為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供雜質(zhì)元素智能化檢測(cè)專用設(shè)備。
1）針對(duì)電子氣的在線原位高純氣體中痕量顆粒物成分檢測(cè)系統(tǒng)
2）針對(duì)高純?cè)噭┑脑陔娮蛹?jí)化學(xué)品雜質(zhì)實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
3）針對(duì)晶圓的全自動(dòng)表面氣相分解監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
4）適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的高潔凈空間懸浮顆粒元素實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
在此基礎(chǔ)上，升級(jí)研制的更適合半導(dǎo)體行業(yè)痕量雜質(zhì)元素檢測(cè)的三重四極桿質(zhì)譜儀（ICP-MS/MS）即將發(fā)布上市，可實(shí)現(xiàn)~0.1ppt級(jí)別的痕量元素檢測(cè)能力，達(dá)到Grade 5級(jí)別及以上超高純?cè)噭┲须s質(zhì)成分的檢測(cè)能力，整體性能指標(biāo)將達(dá)到進(jìn)口同類產(chǎn)品水平。
臨床診斷質(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)
精確診斷是精準(zhǔn)醫(yī)療的重要前提，作為生物樣本內(nèi)小分子分析的金標(biāo)準(zhǔn)方法，高端質(zhì)譜儀器是臨床精準(zhǔn)診斷實(shí)現(xiàn)過(guò)程中不可或缺的工具，也是臨床檢驗(yàn)技術(shù)重要的發(fā)展方向。
當(dāng)前，醫(yī)院對(duì)臨床質(zhì)譜儀器的需求持續(xù)增多，市場(chǎng)空間巨大；但受制于進(jìn)口質(zhì)譜儀器成本高昂，質(zhì)譜臨床應(yīng)用項(xiàng)目盈利狀況普遍不佳，亟需國(guó)產(chǎn)高端智能質(zhì)譜設(shè)備給整個(gè)產(chǎn)業(yè)賦能提速。
譜育科技基于自主研發(fā)的液質(zhì)質(zhì)的臨床診斷質(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)，與第三方檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室(ICL)、IVD企業(yè)合作可助推質(zhì)譜臨床應(yīng)用的大普及，促進(jìn)國(guó)內(nèi)代謝組學(xué)和質(zhì)譜IVD檢測(cè)的大發(fā)展，具有非常好的市場(chǎng)前景。
全自動(dòng)質(zhì)譜實(shí)驗(yàn)室流水線
在實(shí)驗(yàn)室分析自動(dòng)化方向，譜育科技基于全自動(dòng)取樣模塊、超級(jí)微波消解等樣品前處理自動(dòng)化，首次打通質(zhì)譜分析流水線，攻破質(zhì)譜儀自動(dòng)化瓶頸，從制樣-分樣-稱重-前處理-自動(dòng)進(jìn)樣-分析-報(bào)表的全流程自動(dòng)化。
全自動(dòng)質(zhì)譜實(shí)驗(yàn)室流水線已在中國(guó)環(huán)境檢測(cè)總站深圳質(zhì)控技術(shù)研究創(chuàng)新中心交付并穩(wěn)定運(yùn)行，首次實(shí)現(xiàn)了生化檢驗(yàn)以外的無(wú)人實(shí)驗(yàn)室。
(責(zé)任編輯：金利儀器lyh)
