GDM-2100 Series特氣檢測(cè)儀
用芯制造，安全有譜
應(yīng)用于半導(dǎo)體等高科技制造領(lǐng)域
搭載多種原理的智能傳感器組件
可檢測(cè)40多種低濃度有毒有害氣體
行業(yè)介紹
2016年起，國(guó)內(nèi)開始積極投資建設(shè)晶圓廠，陸續(xù)掀起建廠熱潮。2020年~2022年是國(guó)內(nèi)晶圓廠投產(chǎn)高峰期，未來3年將迎來密集投產(chǎn)。
其中電子特氣作為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，從芯片生長(zhǎng)到器件封裝，幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特氣。常見的有SiH4、PH3、AsH3等，核心工段常見的有40余種，總計(jì)100多種。電子特氣雖是半導(dǎo)體行業(yè)的“血液”，但它的危害也非常多，包括毒性、自燃性等。一方面，這些特殊氣體對(duì)人體有害，另一方面，易燃易爆氣體的泄漏易引發(fā)火災(zāi)爆炸事故。
為防止電子特氣在正常狀況下的微量泄漏或在特殊緊急狀況下的大量泄漏，造成難以彌補(bǔ)的生命財(cái)產(chǎn)損失，在使用、存儲(chǔ)時(shí)，必須采取適當(dāng)?shù)陌踩珜?duì)策，對(duì)這些危險(xiǎn)性氣體加以監(jiān)控，以期將災(zāi)害程度降至最低。
研發(fā)背景
在現(xiàn)今半導(dǎo)體工業(yè)中，特氣檢測(cè)儀已成為必備的環(huán)境監(jiān)控儀器，但是目前國(guó)內(nèi)大部分的晶圓廠使用的都是進(jìn)口產(chǎn)品。譜育科技致力于實(shí)現(xiàn)科學(xué)儀器“中國(guó)夢(mèng)”，解決“卡脖子”問題，自主研發(fā)推出了GDM-2100 Series特氣檢測(cè)儀。
產(chǎn)品介紹
GDM-2100 Series是一款專門針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)用戶設(shè)計(jì)的特氣檢測(cè)儀，其具有高可靠性和高靈敏度的特點(diǎn)，采用先進(jìn)的smart sensor傳感技術(shù)，支持多種數(shù)據(jù)傳輸模式。
產(chǎn)品特點(diǎn)
※ 兼容性設(shè)計(jì)
檢測(cè)儀主體采用通用化設(shè)計(jì)，可兼容EC、NDIR、Catalytic等多種檢測(cè)原理的智能傳感器模組，讓特氣檢測(cè)儀主機(jī)實(shí)現(xiàn)了通用化，節(jié)約了購(gòu)機(jī)成本。
※ 智能傳感器技術(shù)
智能傳感器模組自帶核心處理器，支持離線校準(zhǔn)，校準(zhǔn)后不需要任何設(shè)置即插即用，提高了日常維保效率。
※ 供電通訊方式多樣化
① 支持24V直流供電，輸出通用的模擬儀表信號(hào)（4-20mA信號(hào)），構(gòu)建通用型的氣體報(bào)警監(jiān)控系統(tǒng)Gas detector System。
② 支持POE HUB供電，使用LAN網(wǎng)線給檢測(cè)儀提供電源，大幅削減施工成本。輸出modbus/TCP數(shù)字信號(hào)，可通過 web瀏覽器獲取檢測(cè)儀的運(yùn)行情況。
※ 顯示屏清晰易見
彩色TFT液晶顯示模塊， 高亮LED和直觀圖標(biāo)顯示，顯示屏自定義區(qū)域可自由設(shè)置儀器位號(hào)或IP地址等信息，無須粘貼紙質(zhì)標(biāo)識(shí)，既美觀又節(jié)約成本 。
